RTS-9双电测四探针测试仪
广州市动力与储能电池材料与器件产业技术创新平台/仪器设备介绍2016-11-17 10:34:01来源：华南师范大学评论：0点击：收藏本文
RTS-9双电测四探针测试仪
设备简介：
RTS-9双电测四探针测试仪（适用晶片尺寸：2"～12"选配探针台；电阻率：10-4～105 Ω.cm(可扩展)；方块电阻：10-3～106Ω.cm (可扩展)；可测晶片厚度：≤3.00mm）。应用范德堡测量方法利用电流探针、电压探针的变换，在计算机控制下进行两次电测量，能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。
采用了四探针双电测组合(亦称双位组合)测量新技术,将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针、电压探针的变换，在计算机控制下进行两次电测量，能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。
RTS-9双电测四探针测试仪特点：
Ø 采用最新电子技术进行设计
Ø 自动消除样品几何尺寸、边界效应
Ø 具有功能选择直观
Ø 测量取数快
Ø 精度高、测量范围宽
Ø 稳定性好
Ø 结构紧凑、易操作
RTS-9双电测四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序。测试程序在计算机与RTS-9型四探针测试仪连接的状态下，通过计算机的并口实现通讯。测试程序控制四探针测试仪进行测量并实时采集两次组合模式下的测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。
RTS-9双电测四探针测试仪技术参数：
电阻率测量范围 | 10-4～105 Ω.cm(可扩展) |
方块电阻测量范围 | 10-3～106Ω.cm (可扩展) |
电导率测量范围 | 10-5～104 s/cm |
电阻测量范围 | 10-4～105 Ω |
可测晶片厚度 | ≤3mm |
可测晶片直径 | 140mmX150mm(配S-2A型测试台) |
200mmX200mm(配S-2B型测试台) | |
400mmX500mm(配S-2C型测试台) | |
恒流源 | 电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档， 各档电流连续可调 |
数字电压表量程 | 000.00～199.99mV |
分辨力 | 10μV |
输入阻抗 | >1000MΩ |
精度 | ±0.1% |
显示 | 四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示 |
四探针探头间距 | 1±0.01mm |
针间绝缘电阻 | ≥1000MΩ |
机械游移率 | ≤0.3% |
探针 | 碳化钨或高速钢Ф0.5mm |
探针压力 | 5～16 牛顿(总力) |
四探针探头应用参数 | (见探头附带的合格证) |
模拟电阻测量 相对误差 ( 按JJG508-87进行) | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
整机测量最 大相对误差 | (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±4% |
整机测量标 准不确定度 | ≤4% |
计算机通讯接口 | 并口 |
标准使用环境 | 温度：23±2℃； |
相对湿度：≤65%； | |
无高频干扰；无强光直射； |
行业应用：
Ø 半导体材料厂
Ø 半导体器件厂
Ø 科研单位
Ø 太阳能电池板生产厂家
Ø 高等院校对半导体材料的电阻性能测试
